Som en 2 -tums kiselskivleverantör förstår jag den kritiska betydelsen av korrekt lagring i en renrumsmiljö. Kiselskivor är mycket känsliga komponenter som används vid tillverkning av halvledartillverkning, och eventuell förorening eller skada under lagring kan påverka deras kvalitet och prestanda avsevärt. I det här blogginlägget kommer jag att diskutera de viktigaste kraven för att lagra 2 tum kiselskivor i ett renrum, vilket säkerställer deras integritet och användbarhet.
Renrumsklassificering och miljö
Det första steget i lagring av 2 tum kiselskivor är att se till att renrummet uppfyller lämpliga klassificeringsstandarder. Renrum klassificeras baserat på antalet partiklar per kubikmeter luft vid en specifik partikelstorlek. För lagring av kiselskiva rekommenderas vanligtvis ett renrum med en klassificering av ISO 5 eller bättre. Detta innebär att luften i renrummet innehåller högst 3 520 partiklar per kubikmeter 0,5 mikrometer eller större.
Att upprätthålla en stabil temperatur och fuktighetsnivå är också avgörande. Den perfekta temperaturen för kiselskiva lagring är mellan 20 ° C och 25 ° C, med en relativ fuktighet på 40% till 60%. Fluktuationer i temperatur och fuktighet kan leda till att skivorna expanderar eller sammandras, vilket kan leda till stress och potentiell sprickor. Dessutom kan hög luftfuktighet främja tillväxten av mögel och bakterier, som kan förorena skivorna.
Lagringsbehållare
Valet av lagringsbehållare för 2 tum kiselskivor är lika viktigt. Behållarna ska vara gjorda av material som är rena, icke -reaktiva och statiska - dissipativa. Vanliga material som används för skivlagringsbehållare inkluderar polykarbonat, polypropen och fluoropolymerer.
Skivbärare, såsom kassetthållare, används ofta för att lagra flera skivor. Dessa transportörer bör vara utformade för att hålla skivorna säkert på plats, vilket hindrar dem från att flytta eller gnugga mot varandra under lagring eller hantering. Bärarna bör också ha en slät yta för att undvika att skrapa skivorna.
Ett annat alternativ är att använda enskilda skivrutor. Dessa lådor ger en mer isolerad miljö för varje skiva, vilket minskar risken för korsföroreningar. De är vanligtvis förseglade för att förhindra inträde av damm och andra föroreningar.
Hantering och överföring
Korrekt hanterings- och överföringsförfaranden är viktiga för att förhindra skador på de 2 tum kiselskivorna under lagring. All personal som hanterar skivorna bör ha lämpliga renrumskläder, inklusive klänningar, handskar, masker och skoomslag. Detta hjälper till att minimera införandet av partiklar och föroreningar från människokroppen.
Vid överföring av skivor mellan lagringsbehållare eller till bearbetningsutrustning bör specialiserade verktyg som skivpugi eller vakuumhanterare användas. Dessa verktyg är utformade för att hantera skivorna försiktigt utan att orsaka skador. Överföringsprocessen bör genomföras i en laminär flödesmiljö för att säkerställa att skivorna inte utsätts för förorenad luft.
Föroreningskontroll
Föroreningskontroll är en av de mest kritiska aspekterna av att lagra 2 tum kiselskivor i ett renrum. Föroreningar kan komma från olika källor, inklusive luft, personal, utrustning och förpackningsmaterial.
För att kontrollera luftburen förorening bör renrummet vara utrustat med högeffektivpartikelluftsfilter (HEPA). Dessa filter kan ta bort upp till 99,97% av partiklarna så små som 0,3 mikrometer från luften. Regelbunden övervakning av luftkvaliteten i renrummet är också nödvändig för att säkerställa att föroreningsnivåerna ligger inom det acceptabla intervallet.
Personalhygien är en annan viktig faktor. Som nämnts tidigare bör rena rumskläder bäras hela tiden. Dessutom bör personal undvika att röra vid ansikten, håret eller kläderna medan du hanterar skivorna. Handtvätt och användning av handrensare innan du går in i renrummet rekommenderas också.
Utrustningen som används i renrummet, såsom förvaringsskåp och överföringsverktyg, bör regelbundet rengöras och underhållas. Eventuella spill eller skräp bör rengöras omedelbart för att förhindra spridning av föroreningar.
Säkerhet och lagerhantering
Korrekt säkerhet och lagerhantering är också viktiga för att lagra 2 tum kiselskivor. Renrummet borde ha begränsat åtkomst, och endast auktoriserad personal bör tillåtas komma in. Detta hjälper till att förhindra obehörig hantering av skivorna och minskar risken för stöld eller skada.
Ett lagerhanteringssystem bör implementeras för att hålla reda på skivorna i lagring. Detta system bör innehålla information som mängden, platsen och satsnumret för skivorna. Regelbundna granskningar av inventeringen bör genomföras för att säkerställa dess noggrannhet.
Jämförelse med andra skivstorlekar
Medan de grundläggande kraven för lagring av 2 tum kiselskivor liknar de i andra skivstorlekar, finns det vissa skillnader. Till exempel större skivor som12Inch Silicon Wafer (300 mm)Kan kräva mer robusta lagringsbehållare och hantering av utrustning på grund av deras ökade storlek och vikt. Å andra sidan, mindre skivor som4 tum kiselskiva (100 mm)och5 tum kiselskiva (125 mm)Kan vara mer mottaglig för statisk relaterad skada på grund av deras relativt mindre ytarea.
Slutsats
Att lagra 2 tum kiselskivor i ett renrum kräver noggrann uppmärksamhet på flera viktiga faktorer, inklusive klassificering av renrum, lagringsbehållare, hantering och överföringsprocedurer, föroreningskontroll, säkerhet och lagerhantering. Genom att följa dessa krav kan vi säkerställa kvaliteten och integriteten på skivorna, vilket är viktigt för deras framgångsrika användning i halvledartillverkning.
Om du är på marknaden för högkvalitativa 2 -tums kiselskivor eller har några frågor om skivlagring, uppmuntrar vi dig att kontakta oss för ytterligare diskussioner och potentiell upphandling. Vi är engagerade i att tillhandahålla de bästa produkterna och tjänsterna för att tillgodose dina behov.
Referenser
- Semi -standarder: Semi E73 - 1107, Guide for Cleanroom Design and Construction.
- International Organization for Standardization (ISO): ISO 14644 - 1: 2015, renrum och tillhörande kontrollerade miljöer - Del 1: Klassificering av luftrenlighet.
- ASHRAE Handbook: HVAC Systems and Equipment, kapitel 36 - Renrum och andra kontrollerade miljöer.